随着信息及电子发展的速度使得触控式显示面板的应用越来越普遍，目前触控式面板在全球已开始自成一项产业，作为一项先进的计算机输入设备，它是目前最简单、方便、自然的而且又适用于多媒体信息查询装备，触控面板具有坚固耐用、反应速度快、节省空间、易于交流等许多优点。依目前触控式面板的工作原理和传输信息的介质，可将其分为：电阻式、电容式、红外线式及表面声波式，其中以电阻式触控面板为市场主流，其市场规模约占整体触控面板市场之59%，电容式为次之，约占22%。而电阻式与电容式的触控面板皆需要有透明导电膜层（TCO）来产生触控动作的电场感应，大部份的透明导电膜材料以氧化铟锡（ITO）为主。

　　ITO是所有透明导电膜（TCO）中，其导电性与透光率表现最为优良的氧化膜，而应用在触控面板的透明导电膜层除了需具备高穿透以及良好的电阻率，另外需要均匀的电阻分布以侦测精准的触控位置，以及可长期使用的高稳定电性，以因应触控面板的广泛应用，其中以航天军用、工业与车用等应用端的环境测试标准更是比信息产业所使用的面板来得严格许多，所以ITO薄膜的环境测试能力是此应用上重要的考量因素。应用在触控面板的ITO的面电阻较高（常见的面阻抗约300~1000
），为了达到要求的高面电阻，透明导电膜的膜厚需要变得很薄，超薄的膜厚会产生许多问题，包括电性的不稳定、面阻抗的不均匀、环境测试能力变差。

　　本论文即要探讨ITO膜厚对于这些特性的相对关系，并考量面电阻、穿透率、环境测试与生产成本，以评估最佳的ITO薄膜厚度，并且透过优化DC磁控溅镀的制程参数以符合触控面板的透明导电膜之要求，此乃本论文研究方向。