根据日本艾迪科株式会社（以下简称为：“ADEKA”）官网近日披露消息称，千叶新工厂内已引进EUV（极紫外光刻）光刻胶材料一一光氧化发生剂(PAGs)的生产设备，并为新厂房举办了完工仪式。为满足尖端材料的旺盛需求，新产线计划2023年8月开始稼动。

　　5G通信的扩大，以及AI、元宇宙等ICT社会（Information Communications Technology，信息通信技术，简称为“ICT”）中，半导体发挥着重要作用。为提高半导体处理信息的速度、同时降低其功耗，半导体厂家正通过提高其微缩化来推动高集成化的进程。其中，相当于人脑的逻辑（Logic）半导体的微缩化进步尤其明显，对新材料的需求也水涨船高。

　　ADEKA通过为半导体行业提供尖端材料，壮大了其信息・电子化学品事业部的发展。在逻辑半导体应用方向，ADEKA基于出色的光控制技术和金属管理技术，赋予EUV光刻胶材料一光氧化发生剂“ADEKA ARKLS”系列产品全球第一的性能，并获得了极佳的销售业绩。随着半导体微缩化发展，预计对EUV光刻胶的需求也将越来越多，因此ADEKA在2021年8月决定进行设备投资，并投建新厂房。

　　此次新引进的设备量产后，ADEKA的产能将较以往提升至两倍多。此外，ADEKA不仅引进了新的生产工艺（Process），还将引进最先进的设备以提高品质管理能力，使金属杂质管控达到1ppb（part per billion）以下。另外，ADEKA还引进了用于生产新一代产品的设备。

　　ADEKA集团不仅继续会扩大销售其主力产品一一存储半导体方向高介电材料，同时也会继续推进其材料在逻辑半导体方向的应用，以实现成为全球顶尖半导体材料厂家的目标。

　　（图片来源：日本艾迪科株式会社官网）

　　关于ADEKA的光氧化发生剂“ADEKA ARKLS”系列

　　该系列产品是光刻胶的引发剂(Initiator)，为了在半导体光刻制程中形成细微线路，需要利用该系列产品与特定的光、电子线发生反应形成氧。该系列材料被应用于当下最先进的EUV曝光制程中，未来ADEKA将进一步扩大销售。

　　关于ADEKA的信息・电子化学品事业部

　　ADEKA通过向半导体行业和显示行业提供多类尖端材料，促进ICT社会发展。其中，用于存储半导体的高介电材料“ADEKA ORCERA”系列拥有全球第一的市占率。在中期经营计划“ADX2023（2021年一2023年）”中，ADEKA将“新一代ICT相关业务”定位为核心业务之一，并力求大幅度扩大业务规模。

　　ADEKA在“ADX2023”中提到，计划三年内对信息・电子化学品业务进行95亿日元（约人民币4.86亿元）设备投资，由于ADEKA的投资集中在了尖端半导体材料领域，因此在2022年末，实际投资额已经达到最初计划的120%（含获审批部分）。