3 月 8 日消息，由于俄乌冲突，氖气价格自 2022 年以来一路飙升，2021 年韩国进口价格为 58 美元 / 升，而 2022 年飙升至 1612 美元 / 升。最新消息称三星现在计划在芯片生产中使用回收的氖气。
根据 The Korea Economic Daily 报道，三星正考虑从明年开始，在芯片生产中使用回收的氖气，这也让其成为业内首家在光刻工艺中使用回收氖气的公司。
报道进一步指出，三星电子已与当地一家材料公司联手开发相关装置，用于从激光废料流中捕捉氖气，并通过提纯等方式回收氖气。
三星计划明年开始在光刻过程中使用回收氖气，占比 75%。
根据韩国海关总署的数据，2023 年韩国氖气进口总量将达到 102782 升，进口额达到 1680 万美元（约 1.21 亿元人民币）。
氖气是一种稀有的惰性气体，也是光刻工艺中不可或缺的原材料。它用于产生激光，将电路图案转移到基板上，同时也广泛应用于半导体以及显示器等其他行业。
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