引言

　　有机电致发光（OEL）器件由于其在平板显示中的良好应用前景而受到广泛关注。特别是80年代Tang.C.W报道了两层的纯化小分子薄膜高效率电致发光有机二极管以及1990年Burroughes报道了聚合物电致发光后，有机薄膜电致发光器件的研究迅速发展。但是一般的有机发光材料具有很宽的发光谱带，谱线的半宽度约100nm，难以获得高色纯度的发光。想要获得饱和度很高的全色显示，可以通过滤色镜，也可以掺杂窄带发光材料并保证宽带发光材料辐射的能量有效地传递给它，或者采用光学微腔器件，引入光学微腔，可以获得单色性很好的发光，而且通过合理设计可以控制发射波长。1992年Yokoyama提出了用平面微腔结构来改变有机电致发光薄膜的发光光谱，窄化光谱宽度，自此有了很多微腔有机发光的研究。

　　近年来，微腔有机电致发光二极管被广泛地用在平板显示和光互连上，因此，发光波长可调的微腔发光管无疑在这些应用中有诱人的应用前景。谐振波长是由微腔的光学厚度决定的，改变折射率或者腔长，都可以实现发光波长调谐，但是前者的调谐范围很小。本文提出了一种新的基于MEMS（Micro Electro Mechanical System）空气腔，通过静电力改变其腔长，而获得宽波段连续可调的微腔电致发光二极管，对所设计的结构进行了模拟计算，并作了分析和论证

　　原理

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