一、OLED 的显示
二、OLED 相关关键工艺
氧化铟锡(ITO)基板前处理
(1)ITO 表面平整度
ITO 目前已广泛应用在商业化的显示器面板制造,其具有高透射率、低电阻率及高功函数等优点。一般而言,利用射频溅镀法(RF sputtering)所制造的ITO,易受工艺控制因素不良而导致表面不平整,进而产生表面的尖端物质或突起物。另外高温锻烧及再结晶的过程亦会产生表面约10 ~ 30nm 的突起层。这些不平整层的细粒之间所形成的路径会提供空穴直接射向阴极的机会,而这些错综复杂的路径会使漏电流增加。一般有三个方法可以解决这表面层的影响︰一是增加空穴注入层及空穴传输层的厚度以降低漏电流,此方法多用于PLED 及空穴层较厚的OLED(~200nm)。二是将ITO 玻璃再处理,使表面光滑。三是使用其它镀膜方法使表面平整度更好(如图二所示)。
(2) ITO 功函数的增加
当空穴由ITO 注入HIL 时,过大的位能差会产生萧基能障,使得空穴不易注入,因此如何降低ITO / HIL 接口的位能差则成为ITO 前处理的重点。一般我们使用O2-Plasma 方式增加ITO 中氧原子的饱和度,以达到增加功函数之目的。ITO 经O2-Plasma 处理后功函数可由原先之4.8eV 提升至5.2eV,与HIL 的功函数已非常接近。
加入辅助电极
由于OLED 为电流驱动组件,当外部线路过长或过细时,于外部电路将会造成严重之电压梯度(voltage drop),使真正落于OLED 组件之电压下降,导致面板发光强度减少。由于ITO 电阻过大(10 ohm / square),易造成不必要之外部功率消耗,增加一辅助电极以降低电压梯度成了增加发光效率、减少驱动电压的快捷方式。铬(Cr:Chromium)金属是最常被用作辅助电极的材料,它具有对环境因子稳定性佳及对蚀刻液有较大的选择性等优点。然而它的电阻值在膜层为100nm 时为2 ohm / square,在某些应用时仍属过大,因此在相同厚度时拥有较低电阻值的铝(Al:Aluminum)金属(0.2 ohm / square)则成为辅助电极另一较佳选择。但是,铝金属的高活性也使其有信赖性方面之问题;因此,多叠层之辅助金属则被提出,如:Cr / Al / Cr 或Mo / Al / Mo,然而此类工艺增加复杂度及成本,故辅助电极材料的选择成为OLED 工艺中的重点之一。
阴极工艺
在高解析的OLED 面板中,将细微的阴极与阴极之间隔离,一般所用的方法为蘑菇构型法(Mushroom structure approach),此工艺类似印刷技术的负光阻显影技术。在负光阻显影过程中,许多工艺上的变异因子会影响阴极的品质及良率。例如,体电阻、介电常数、高分辨率、高Tg、低临界维度(CD)的损失以及与ITO 或其它有机层适当的黏着接口等。
三、OLED 的驱动技朮
四、具体点模块SSD1332、65K、OLED5
五、用AT90S8515测试板(新测试板外部可以扩展8Mbit)
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