藉着中国大陆半导体和平板显示市场近几年的繁荣之势,海德汉积极投身开拓中国电子设备制造和FPD市场。2012年3月20-22日,在上海新国际博览中心E1馆1213展位,海德汉将带着旗下针对半导体与平板显示生产设备行业的最新产品及先进技术亮相SEMICON/FPD China 2012。
在高产量加工过程中能保持持续的高质量和高精度是高效生产的关键。为此,海德汉提供大量具有高质量信号输出的直线光栅尺和角度编码器的选择,确保定位精度准确。得益于它们面向实际应用的机械结构, 实用性的高精度和可定义的温度特性,使海德汉光栅尺或和角度编码器能确保满足不同测量任务和安装条件要求。
敞开式增量直线光栅尺 LIF 400
精度高和安装简单
应用
• 半导体后端生产设备
• 计量仪器
特点
• 紧凑型读数头和光栅尺
• PRECIMET背胶固定,安装简单
• 抗污染能力较强
• 限位开关和回零轨
技术参数
• 玻璃基体或Zerodur玻璃陶瓷基体的
SUPRADUR相位光栅
• 信号周期 4 µm
• 精度等级 ± 3 µm
• 典型位置误差
单信号周期内 ± 0.04 µm
• 测量长度 至1 020 mm
• 接口 1 VPP或TTL
敞开式增量直线光栅尺 LIDA 400
用于高速运动和大测量范围
应用
• 半导体工业生产和检测设备
• PCB电路板组装机
• 测量机
特点
• 运动速度快
• 测量长度大
• 安装公差大
• 限位开关
• 多种型号可供选择
技术参数
• 钢带,玻璃或玻璃陶瓷基体的METALLUR光栅
• 信号周期 20 µm
• 测量步距 至0.05 µm
• 精度等级 至± 5 µm
• 典型位置误差
单信号周期内 ± 0.2 µm
• 测量长度 至30 m
• 接口 1 VPP或TTL
无内置轴承增量式角度编码器
玻璃圆光栅码盘/轮毂总成
应用
• 计量仪器
• 高速旋转轴
特点
• 尺寸紧凑
• 高精度
• 信号误差补偿
技术参数
• 玻璃基体的METALLUR光栅尺
• 信号周期数 9 000/18 000
• 系统精度 ± 5/± 3 角秒
• 直径 外径 71/150 mm
内径 25/95 mm
• 接口 1 VPP或TT
海德汉公司带有绝对位置信号输出的光栅尺和编码器在提高生产和加工过程的效率和可靠性方面发挥着重大作用,帮助用户在保持质量稳定的同时提高产量。高分辨率的特点使这些编码器能准确控制速度,因此能提高速度稳定性和提高定位特性。
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敞开式绝对直线光栅尺 LIC 4000
精度高和测量范围大
应用
• 半导体工业的测量和生产设备
• PCB电路板组装机
• 测量机
• 直接驱动
特点
• 大测量范围的绝对位置值
• 高分辨率
• 结构紧凑
• 安装和诊断简单
技术参数
• 有绝对刻轨的METALLUR钢带
• 分辨率 最小至0.001 µm(1 nm)
• 精度等级 达± 5 µm
• 典型位置误差
单信号周期内 ± 0.08 µm
• 测量长度 至27 m
• 运动速度 至8 m/s
• 接口 EnDat 2.2
绝对式模块旋转编码器 ECN 1123/EQN 1135
单圈/多圈版
应用
• 伺服电机反馈系统
• 机械手应用
• 一般自动化系统
特点
• 结构紧凑
• 安装简单
• 功能安全
技术参数
• 单圈测量步距数 8 388 608 (23 bits)
• 分辨率(EQN 1135) 4 096 (12 bits)
• 系统精度 ± 60’’
• 接口 EnDat 2.2
8 MHz时钟频率
• 安全等级 SIL 2,EN 61 508
3级PL d,
EN ISO 13 849-1:2008
• 供电电压 DC 3.6至14 V
约翰内斯·海德汉博士(中国)有限公司 www.heidenhain.com.cn
SEMECON/FPD 2012 E1馆 1213展位 欢迎拨冗莅临!
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