应用材料公司推下一代电子束检测设备 分辨率业内最高
摘要：新的PROVision系统是唯一能精确到1纳米分辨率的电子束检测工具，对于小于等于10纳米的多次图型光刻、鳍式场效应晶体管(FinFET)制造、DRAM以及3D NAND器件的研发、进入量产和生产工艺控制尤为关键。 检测速度提高3倍，适用于大部分最具挑战性的电子束检测应用
阅读：6132016年07月15日 09:55:29
摘要：新的PROVision系统是唯一能精确到1纳米分辨率的电子束检测工具，对于小于等于10纳米的多次图型光刻、鳍式场效应晶体管(FinFET)制造、DRAM以及3D NAND器件的研发、进入量产和生产工艺控制尤为关键。 检测速度提高3倍，适用于大部分最具挑战性的电子束检测应用
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