●演讲/许生

　　“2011年触控屏市场规模有160亿美元，到2018年将翻一倍，达到320亿美元左右”，这是著名显示行业研究公司DisplaySearch的资料。今年，In-cell、On-cell和OGS是业界关注的重点，而从镀膜技术看，主要是IM ITO、AR以及镀膜技术的低温方法。

　　镀膜技术的发展主要有四个方面：一是低温ITO技术，从传统的170度、电阻80Ω、通过率达到87%到现在的80度、电阻80Ω、通过率达到85%左右的转变；二是IM ITO要求低温80Ω，但目前的行业内达到的要求是低温20Ω，在这方面还需要进一步的发展；三是AR，现在的要求小于0.5%；四是大型超薄方面的Back side ITO技术，目前要求80度降到50度的范围。

　　目前在电容屏领域里有三种类型的设备可以选择。第一种是ITO方式的单进单出方案，另外一种是双进双出的方法，实际上这些方案是应对客户不同的需求。双进双出的方法是一边可以单纯做ITO，另外一边做氧化硅。第三种是循环的结构，针对像IM ITO结构或者三层结构和四层结构的镀膜，采取循环镀膜的方式。

　　目前做IM ITO有两个方案，一是三层结构，用氧化锂+氧化硅的方案，另外一种是采取四层结构加上ITO是五层结构。从效益看，针对不同的方块电阻，有些可以达到，但如果电阻太低就采取5×9方式，这主要因为如果ITO的厚度厚了对光学层的要求就更高。

　　接下来，我介绍一下我们公司。爱发科豪威是中国第一家推出ITO镀膜技术的公司，爱发科是全世界做PVD最好的公司之一。2009年4月30日成立的注册资本达6000万的爱发科豪威合资公司，传承了爱发科在真空设备研制领域的全球顶尖优势，依托爱发科在材料工艺及关键设备的强大后援，逐步地实现高端真空镀膜设备及相关部件的国产化制造。公司成立之初，有两个方向：为触控屏领域服务，为设备制造厂商提供大型镀膜设备。我们在电容屏做了很多工作，包括玻璃解决方案、膜的解决方案。

　　根据客户的不同要求，目前爱发科豪威有三种电容屏镀膜设备：第一种是单进单出的方案，是ITO的方式；第二种是相当于两条线的双进双出方法，可以一边做ITO，一边做氧化硅；第三种则是循环的结构，针对两层以上的，像IM ITO、三层结构和四层结构的镀膜，采取循环镀膜的方式。

　　在镀膜技术方面，爱发科豪威不断强化自身核心竞争力，积极探索相关工艺及技术。

　　一是低温镀膜工艺。爱发科专利的W-α阴极采用高磁场、低电压ITO镀膜，有效降低了ITO电阻率，达到电阻范围平均80Ω，控制在2.9%，而一般镀膜性能要求是5%。

　　二是消影膜——IM ITO工艺。该技术应用越来越广泛，OGS技术都要用IM ITO。目前做IM ITO有两个方案，一是三层结构，氧化锂+氧化硅的方案。另外一种采取四层结构，加上ITO是五层结构。

　　三是OGS镀膜工艺。有两种方案：第一种是370×470可以放9片，镀膜以后做OGS再切割；还有小K镀膜的方式，直接在小片上进行镀膜。爱发科豪威已有成功的技术，能做到表面无接触、无效镀膜边缘最小、无绕射、无刮伤，而且设备已经销售。

　　四是AR工艺。目前产业界对AR技术接触越来越多，一般都涉及到A、B值，这就是开发的范围。现在的几乎是全色的AR技术。从AR系数来看，爱发科豪威的优势是采用四层AR技术，A值小于1，就是0.1-0.8，B值是-0.5，也是小于1的范围。

　　五是Back Side技术。主要在面板制成以后减薄，因为要在非常低的低温上进行镀膜，而针对不同的厚度，爱发科豪威可以提供Back Side ITO的镀膜设备。

　　爱发科豪威设计的整个生产线采取不同的模块，可以大大缩短制造中心。从目前的情况来看，因为是模块化的方式，不管是AR还是IM，都可以在比较短的时间内完成设备的安装和调试。过去的设计和实地安装调试时间大概是7个月，现在至少可以缩短两个月。

　　而在触控屏领域，采取α阴极提高靶材利用率，可以节约成本。目前，触控屏产业主要做两种薄膜：导电薄膜和介质薄膜。介质薄膜如氧化锂、氧化硅，行业里采取旋转阴极设计。爱发科豪威运用移动阴极和宽板设计，能将靶材利用率提高到达到50%。现在ITO材料成本非常高，以G6和G4.5，实际利用率50%和35%的比较，一年算下来，以6代线为主的企业，一年可以节约1100万；如果是G4.5，实际靶材利用率是35%，一年在节省材料费用240万。

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