近十年来，中国平板显示产业已取得跨越式的发展，行业规模不断扩大，相关技术也日益成熟。然而，在关键材料和设备的应用上，中国平板显示产业仍然依赖国外企业。幸而，一批国内企业正不余遗力在关键材料与设备进行研发，并在很多关键领域实现了突破。昨天上午，深圳市清溢光电8.5代TFT掩模版成功下线，打破了国外企业在大尺寸TFT掩模版这一领域的技术垄断。目前，清溢光电已经成为中国大陆首屈一指的掩模版的提供商。

　　由深圳清溢光电股份有限公司主办，华星光电、中国光学光电子行业协会液晶分会、中国电子材料行业协会、深圳市平板显示行业协会协办的“2015年大尺寸TFT掩模版自主技术论证会”昨天在清溢光电大厦隆重举行，国家工信部电子信息司副司长彭红兵，深圳市发展和改革委员会赖向群处长，中国光学光电子行业协会液晶分会秘书长梁新清，深圳市平板显示行业协会首席顾问孙政民、秘书长偰正才，清华大学高鸿锦教授、张百哲，天马微电子总经理刘静瑜，华星光电副总裁赵勇等政府领导、中国电子技术标准化研究院与行业协会专家、企业代表参加了本次论证会。

　　本次论证会上，清溢光电总经理朱雪华介绍，自1997年成立以来，清溢光电不断创新努力，在掩模版领域实现了一个个新突破，特别是2014年9月清溢光电8.5G TFT用CF Mask顺利制作下线并出货给客户，又一次填补了国内空白，也为公司后续的发展奠定了新的方向和基础。她表示，清溢光电未来将在政府与下游面板企业的支持下，不断努力，在掩模版领域取得更多突破，为中国平板显示产业关键材料国产化做出更大的贡献。

工信部电子信息司副司长彭红兵

　　彭红兵副司长表示，尽管中国平板显示产业取得了初步的发展成绩，但是在关键材料和设备上仍然发展滞后，这对产业链的安全性造成了很大的影响。他表示，工信部将继续加大关键材料与设备产业配套的支持，贯通产业链，为产业的发展提供良好的发展环境。他也希望上下游企业要加强产业链联动，实现关键材料的国产化，维护产业链的安全性。

　　赖向群处长表示，清溢光电大尺寸TFT掩模版对中国平板显示产业的发展意义重大。深圳市未来也将继续加大对类似清溢光电的产业配套企业的发展，完善平板显示产业链。

　　清溢光电下游供应商华星光电、龙腾光电企业高层也发表讲话。他们希望，清溢光电继续降低大尺寸掩模版的成本，完善产品的技术指标。同时，他们也表示将继续支持清溢光电在掩模版领域的国产化应用。

深圳市平板显示行业协会首席顾问孙政民

　　在专家论证环节，现场各位专家分别发言，并对清溢光电大尺寸TFT掩模版成功下线发表了看法。其中，深圳市平板显示行业协会首席顾问孙政民孙政民表示，清溢光电大尺寸TFT掩模版下线令人感到欣喜。他希望，清溢光电继续加大在掩模版领域的技术与资金投入，不断实现新技术突破，做世界级的掩模版供应商。

　　据清溢光电CTO李跃松介绍，TFT用掩模版都是由石英玻璃基板、铬膜图形及保护膜(pellicle)构成。石英基板的尺寸从330mm×450mm到1220mm×1400mm，厚度从5mm到13mm。铬膜厚度为0.1μm，图形关键尺寸在4μm左右，主要技术指标均为亚微米级。虽然从数字看，8.5代和5代掩模版的精度相当，但8.5代TFT掩模版（1220mm×1400mm）面积达到1.7㎡，是第5代TFT掩模版（520mm X800mm）面积的4.1倍，要实现同等技术指标的难度系数要大很多，这在解决CD精度、TP精度、缺陷三大技术指标的过程中都有体现。另外8.5代TFT掩模版重量接近50公斤，“大而重”的特点，对解决玻璃自重变形、生产转运、净化包装、防护等也形成一定的挑战。通过自主研发，清溢光电已掌握8.5代及以下TFT掩模版的核心技术。目前，清溢光电8.5代TFT掩模版已通过华星光电的测试认证。

　　清溢光电副总经理陶飞表示公司将在中国TFT掩模版自主化道路上继续作出努力：第一，在产能上清溢光电将在2015年再投两台光刻机及相关的配套设备，以扩充产能，改善交货能力，提供中国掩模版的自主化率。第二，在产品和技术上，实现G2.5-G8的TFT掩模版全覆盖，服务好中国大陆的面板客户；对于LTPS的掩摸版，将配合国内厂家，做好产品开发。

　　此次，清溢光电8.5代TFT掩模版成功下线，打破了国内8.5代TFT掩模版依赖进口的不利局面，对于促进我国TFT产业链的发展、提升产业链竞争力具有重要的战略意义。