随着空气内散布的微小气状分子污染物(AMC)，对半导体及光电等精密制程的品质造成举足轻重的影响时，其品质问题所延伸的成本提高及良率降低已然成为不可忽视的重要议题。

　　奇鼎科技率先业界于多年前始研发制程一整合线上即时(In－line)连续监看ppbv－pptv等级的微污物(nano－contamination)侦测系统，由广泛的物种观察结果，集结而成的强大品质资料库，提供高阶制程与时俱进的品质控制方案。

　　凭藉着对先进制程环境中空气未知物的了解，奇鼎科技推出“AMC去除控制整合节能方案”作为微污染物去除的对策。应用包括制程的微环境控制(Mini－environment)及厂房环境(Fab)的外气供气处理，提供先进制程一个完整的AMC连续监测及去除控制方案。

　　奇鼎科技整合线上连续监测及AMC去除控制的完整方案，提供先进制程一个完整的空气微污染物控制之品质精进方案，此图以Array制程为范例，解释此方案的架构。

　　以往微环境的空气控制强调的仅有精密的温湿度议题，而此领域多年来多由日系设备掌握资源。2010年起由奇鼎科技成功研发制造的TAU(Thermal AMC Control)系列，不但提供超前业界标准的精密温湿度控制，可在运转后短时间达到温度精度控制±0.5度C结合湿度精密控制±1%RH，同时去除AMC效率可达97%的独家过滤方式。

　　此套系统应用于先进制程时，可提供恒温恒湿的层流控制于制程环境中，空气均匀分布使产品降温状态达到最佳化；结合微污染物去除的精准微环境控制效果，去除环境中对产品品质有疑虑的微污染物。

　　此项独家特殊的AMC去除方法，另可应用于外气空调箱(MAU)；除了在外气处理的第一段达到AMC去除的效果，提供厂房一个低微污物的环境保证，更可同时为马达耗电节能约90%至98%，在先进制程品质控制精进的方案上，达到品质和成本兼顾的完美搭配。

　　微环境控制与监测的整体解决方案(Total Solution)领域，经由奇鼎科技数年来的耕耘，已获得台湾一级晶圆代工及面板厂的肯定，目前更持续朝海外市场开拓、精进，成为更多新进制程品质进阶计画的助力。

　　藉由多年海内外实绩已证实，在制程环境空气中所含的微污染物，利用线上监看搭配微环境控制的完整方案，提供高阶制程可靠的连续性分析控制，将大幅降低人为因素造成品质监控的异常和成本支出，为此领域开拓一个品质精进的新纪元。