你知道OLED成膜现场长什么吗?
不知道?
那好,接着看就知道了
知道?
来来,看看这个跟你见的一样吗?
OLED成膜工艺现场原来长这样...
小分子材料量产系统
上图是小分子材料EL器件生产体系的一个实际示意图,这个体系几乎全部是自动操作,不接触大气,一直到最终产品为止的成品都是在这里面实现的...
具体流程如下
1、搬运的机械臂将玻璃基板从置样室中取出
2、玻璃基板的预处理,等离子清洗等
3、清洗结束后的玻璃基板在真空式沉积注入层、传输层和发光层
4、最后蒸镀金属电极
使用这样的工艺以后,再将有机EL器件的基板通过送样室传到下面的工艺,也就是“封装工艺,然后整个制造过程完成。
需要注意的是,这个例子是小量生产线的情况,若是企业量产线,图中的蒸镀室会有7到8个,而且还有预备室。
小分子EL器件采取的是多层结构,所以可将多台真空蒸镀机并置在一个蒸镀机中,连续不断的蒸镀同一种材料。
ITO基板在这些蒸镀机中一个接一个的传送,将有机材料一层接一层的蒸镀上去。
高分子材料量产系统
上图是高恩自EL的生产体系,首先,涂上一层空穴注入层,然后再连续刷上发光层染料,所有层的沉积都采用喷墨打印的工艺。
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