自中美贸易战以来，半导体全产业链亟需国产化与自主可控已成为国内企业共识。近年来，正业科技基于战略及业务发展需要，在锂电池检测自动化业务的基础上通过横向发展，将“X光检测技术”应用于半导体领域。在2022广东省半导体产业技术峰会上，广东正业科技股份有限公司（以下简称：正业科技）半导体事业部副总经理魏承锋以“半导体检测设备国产替代未来可期”为主题，分享了半导体设备市场现状，详细介绍了正业科技在芯片缺陷的自动检测技术上的最新研发成果。

　　广东正业科技股份有限公司半导体事业部副总经理魏承锋

　　魏承锋表示，正业科技20多年不断实现国产替代进口，2003年进入光学检测领域，从事PCB检测仪器及设备研发；2010年自主研发新能源X-RAY检测设备；2020年自主研发半导体X-RAY检测设备。他介绍，“无论是PCB行业，还是锂电行业检测，目前正业科技已经在国内市场X-RAY检测市占率位居前列，特别是国内锂电池、新能源X-RAY市占率应该有70%左右。”

　　根据国际半导体行业协会（SEMI）《全球半导体设备市场统计报告》，2020年、2021年中国大陆设备销售额分别是187.2亿美元、296.2亿美元，增幅达到58%，2021年占全球市场的28.9%。魏承锋表示，从这个数据上可以看出，目前中国大陆半导体设备销售额已经占全球第一位，且市场占比也在逐渐上升。不过，他也指出，尽管晶圆制造和封装测试检测设备约占半导体设备比例20%，但中国大陆相关的行业设备基本被海外公司垄断，国产替代率不足10%。其中，在晶圆制造环节，美国KLA份额一家独大；在封测环节，泰瑞达、爱德万已成为检测设备双龙头。因此，他认为，中国必须打造自主可控中国产业链，提升半导体设备国产化替代率。

　　魏承锋表示，目前半导体行业痛点主要体现在成本管控与安全保障上。其中，控制成本核心因素之一是减少浪费，误判率越低，代表成本越有竞争优势，需要检测设备必须降低误判率，同时如果不良品流入下游，轻则召回，导致巨额损失，重则发生重大安全事故，需要检测设备必须零漏判。为此，针对芯片缺陷的自动检测技术取得重大突破，正业科技自主研发的半导体分立元件在线全自动X-RAY检测设备为半导体行业客户解决了检测效率的难题。

　　魏承锋介绍，历经两年自主研发，正业科技行业首推全自动X射线在线检测设备——全自动半导体X-RAY芯片缺陷检测设备，可实现0%的漏判率、3%的误判率。对比国内外同类型的设备，他表示，正业科技芯片缺陷检测设备不仅实现全自动在线检，无需预前抽检，避免了有些产品通过抽检方式有“漏网之鱼”，而国外多是半自动检设备，且售价高达100万美元，而正业科技设备则仅需40万美元。

　　他还介绍，正业科技不拆带全盘扫描X-RAY全自动检测设备，可以检测线性坏品、金铜线互混、脚型坏品、球型坏品、异物坏品、Die走位/多余Die坏品、断颈/颈部受损坏品，不需人工目视检测，实现零漏检、极低误检。同时，这款设备新增异物和胶水厚度自动检测，实现在线全检，产能明显提高。

　　“实际上，正业科技X-RAY全自动检测设备不仅自动化更高，效率上也远远高于国外同类型的设备，且仅需一人就能操控管理七八台设备。因为通过机器AGV小车全自动上料跟下料，而过程中又是机器算法自动地全检识别。” 魏承锋表示，在设备漏检率与误判率上，人工检测或半自动检测的方式，都需要人工介入，但人总会疲劳，进而会造成漏检。

　　魏承锋指出，全自动在线检的好处主要体现在：一是实现零漏判、低误检；二是生产效率大大提升；三是如果有一定产量规模的生产，整体设备投入是降低的。同时，他也介绍，正业科技不断拓展X光检测技术在半导体领域的应用，也开发了手动/半自动半导体X-RAY检测设备、半导体智能点料机。

　　2022广东省半导体产业技术峰会录播

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