2015年开始，福州大学吴朝兴教授团队开展LED非接触电致发光原理研究，随后提出Micro LED芯片的无接触电致发光检测方案，即在外部检测电极与Micro LED芯片之间不接触的情况下实现LED芯片的电致发光。在该模式中，外部电极不是为LED注入载流子，而是用于形成垂直于LED多量子阱层的电场，从而 “隔空”点亮LED芯片。

这种检测方法既避免了传统检测方法在检测过程中对Micro LED芯片造成的物理性损坏，又避免了光致发光检测造成的芯片良品率“虚高”的现象。除此之外，还能避免自动光学检测在检测过程中将表面形貌完好但无法发光的Micro LED芯片误判为正常芯片的情况。

2024年，海目星携手福州大学吴朝兴教授团队，开展复杂电磁环境中的“机械-电气-发光-采集”功能模组的设计与整合，以及控制与光电采集信号的同步，成功研制晶圆级Micro LED芯片的非接触电致发光检测工程样机FED-NCEL，突破产业化“最后一公里”。

样机高精度、高稳定性、高效率的技术特点，极大提升了工艺良率水平，降低制造成本，为我国Micro LED产业提供了本土化的解决方案，以高质量创新助推行业跃进。

■ 检测实例：

红光COC氮化镓Micro LED芯片检测

红、绿、蓝COW氮化镓Micro LED芯片检测

由图可见，晶圆级Micro LED芯片的非接触电致发光检测不受芯片位置影响，可以较好地隔空点亮芯片。

据了解，海目星身为新型显示产业链上的领先企业，不断在全球赛道中抢占技术高地，推动产业转型升级。2024年7月，海目星与福州大学合资成立深圳海纳半导体装备有限公司，聚焦各类新型显示及第三代半导体检量测设备，为提升行业良率提供高速高精的解决方案。今年4月，海目星还与闽都创新实验室正式成立“半导体检量测装备研发中心”，进一步深化产学研融合，赋能半导体显示产业创新发展。

海目星、闽都创新实验室成立研发中心