应用材料公司今天推出了全球第一款面向平板显示行业的高分辨率在线电子束检视(EBR)系统。该系统能显著提高OLED，UHD液晶屏制造商良率改善的速度，更快地将新型平板显示产品推向市场。

　　作为半导体行业EBR技术的领导厂商，应用材料公司2015年市场占有率达到70%以上。最新的EBR系统在一台大型真空平台上结合了用于半导体器件检视的扫描电子显微镜(SEM)，成为业内最快、最高效的在线EBR检视技术，能有效发现，分析移动设备和电视显示屏致命缺陷的根源。

　　全球十大显示屏制造商，目前已有六家向应用材料公司订购了EBR系统。随着越来越多的显示器厂商希望通过快速、经济的方式来提升良率，尽快将新产品推向市场，势必将进一步提升该系统的未来需求。

　　应用材料公司高级副总裁，平板显示及相关产品事业部与全球服务产品事业部总经理Ali Salehpour表示：“我们拥有一系列面向平板显示行业的新产品，其中最新推出的EBR系统能帮助客户解决OLED，LCD制造中的关键挑战。该系统完美结合了应用材料公司在半导体良率控制领域的先进工艺和面板级SEM技术，进一步扩展了我们产品的目标市场，帮助客户避免因良率低下导致的高昂成本。随着增强现实、虚拟现实及智能汽车等新应用的日渐兴起，市场对于新外型、性能更出色的显示屏的需求不断增加，这也相应推升了先进平板显示解决方案的需求，而我们的EBR系统能帮助客户加快产品上市时间，因而受到市场热烈反响。”

　　知名显示器制造商天马微电子集团副总裁马骏博士表示：“作为全球显示解决方案领导厂商，天马十分重视与应用材料公司的良好合作关系。应用材料公司的设备帮助我们开发出生产高质量、高性能移动显示屏的新技术，满足消费者日益增长的需求。应用材料公司的EBR系统将缩短我们武汉工厂生产线的调试时间，从而更快地向市场推出更多先进的平板显示技术。此次合作成功后，我们期待继续与应用材料公司携手，将更多半导体良率提高技术引入移动显示制造过程。”

　　由于先进的平板显示技术需要越来越多的生产工序，可能产生更多、更小的污染物，以及新类型的缺陷。在区分致命与非致命缺陷以及确认导致缺陷的系统性原因方面，目前传统的在线自动光学缺陷检查设备无一能与SEM分析技术相媲美。在应用材料公司推出EBR系统前，显示屏的SEM分析必须破坏性地切割玻璃基板，然后在显微镜下对每一小片玻璃单独进行检视。这一过程不仅费时费力，而且几乎无法确定缺陷在面板上的位置。为了弥补这些不足，应用材料公司开发了在线SEM检视工具，能实现业内最高的分辨率和检视速度，且无需破坏玻璃基板。（来源：电子产品世界）

　　*SEM = scanning electron microscope

　　*SEM =扫描电子显微镜