三星显示将研究新一代IT用8.5代OLED蒸镀技术。虽然能够大幅扩大经济性的8.5代采用垂直蒸镀仍是最优选择，但为了应对不确定性，水平蒸镀技术也很有可能同时开发。IT用OLED是指适用于平板电脑和笔记本电脑等IT产品的OLED。

　　根据韩媒Thelec报道，三星显示最近要求日本Canon Tokki确保开发2台IT用8.5代（2200x2500mm）有机发光二极管（OLED）半切（Half Cut）、水平方式蒸镀机所需的Slot。Slot是在签订购买意向书 （LOI）和正式订单 （PO） 之前的口头请求。

　　显示设备厂商在对设备制造日程进行具体化时，会反映面板厂商提出的确保Slot的要求。因为在要求确保Slot后，紧接着进行购买意向书和正式订货的事例很多。业界也对三星显示的"确保Slot"要求表示："这意味着将研究IT用8.5代OLED蒸镀技术。"

　　三星显示之所以要求Canon Tokki确保8.5代半切式水平蒸镀Slot，是因为目前在与日本Ulvac正在进行的8.5代全切式垂直蒸镀机开发上面临困难。

　　与半切式水平蒸镀机相比，全切式垂直蒸镀机可以减轻 FMM 中心区域因重量而下垂的现象，因为将红（R） 绿 （G） 蓝 （B） OLED 有机物蒸镀所需的精细金属掩模版 （FMM） 垂直于地面。此外，全切式垂直蒸镀在薄膜晶体管（TFT）工艺后，基板未进行半切的状态下蒸镀有机物，使整个过程可以缩短。

　　但是垂直蒸镀的量产性尚未得到验证。在垂直蒸镀中，需要更高的温度才能将气化的有机物输送到一边，然后蒸镀在玻璃基板上。当热量过多时，有机物特性可能会发生变化。另外，确保重复蒸镀2米以上的8.5代玻璃基板的蒸镀工艺，并在无损伤的情况下移动的物流技术也并非易事。

　　迄今为止，OLED智能手机等主要使用第六代（1500x1850mm）半切式水平蒸镀技术。因此，虽然有观点认为8.5代全切式垂直蒸镀机在经济性方面会更好，但在设备开发方面并不容易。

　　另外，三星显示的此次确保Slot的要求，也反映了首先向三星电子供应IT用OLED的日程，以及Canon Tokki的设备生产能力等。

　　来源：韩媒Thelec