ISO14644-1、GB50073-2001洁净厂房标准规范
注：①每个采样点应至少采样3次； ②本标准不适用于表征悬浮粒子的物理性、化学性、放射性及生命性； ③根据工艺要求确定1~2种粒径； ④各种要求粒径D的粒子最大允许浓度Cn由公式确定，要求的粒径在0.1~5μm范围，包括0.1μm及5μm。 式中：Cn——大于或等于要求粒径的粒子最大允许浓度（pc/m3）。Cn是以四舍五入到相近的整数，有效位数不超过三位数。 N——洁净度等级，数字不超出9，洁净度等级整数之间的中间数可以按0.1为最小允许递增量。 D——要求的粒径（μm）。 0.1——常数，其量纲为μm。 美国联邦标准
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