【提要】 为对洁净室内的污染进行控制，首先必须研究危险。研究生产过程中的风险有许多体系，例如故障分析（FTA）与故障模式与效果分析（FMEA）。“危险分析和关键控制点”有7个步骤，本文所提到的是所建议的体系，供参考。
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第三步：制定危害控制方法
在列出洁净室内所有污染危害并分析了其危险程度后，必须审定控制方法。有效控制方法的重要性应与危险分析相关联。危险越大，控制方法就越要有效。而且，还必须显示出控制方法确是有效的。否则的话，就要采用更有效的控制方法，或将控制方法应用于不同的点或不同的位置。如下表洁净室内的污染源、传播途径、控制与监测方法所示（表一）。
第四步：危害监测采样法及控制法
在洁净室运行控制中还必须设定限值，以确保对生产工艺的污染处在控制之中。以空气为例，测量粒子和微生物已有既定的方法，可应用ISO14644-1这样的标准来设定限值。但若由于人员与产品的接触造成了危害，其控制措施就是戴手套，其监测就包括检查手套的破损处，测量手套表面的粒子或微生物。
关于监测，需由以下内容组成：
采样仪器的采样效率。
仪器校准。
确定需要予以监测的重要的危害。
确定所使用的采样方法都是能够使用的最好方法，可直接测量污染危害，或直接测试控制危害的方法。
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