在理论方面1978年中国建筑科学研究院许钟麟研究员首次在传统的洁净室内全室微粒均匀分布理论的基础上，通过分析影响洁净室含尘浓度不均匀分布的各种因素，把洁净室的含尘浓度分布进行了解耦，解耦成了3个分布区域(即送风口下方的主流区，回风口区域的回风口区，其余的区域为涡流区)

　　传统的洁净空间控制污染的机理，主要是通过布置在送风末端的高效过滤器将洁净气流送入。由于过滤器很难避免在制作、运输和安装过程中，总不断地有机会造成过滤器的滤材、滤器及安装结合面的渗漏，高效过滤器的渗漏是不可避免的，所以仅靠密封堵漏不能有效解决渗漏问题。单向流洁净室的满布高效过滤器的送风天花不仅仅起到了过滤的作用，而且还起均流作用和防漏作用，因此末端高效过滤器把防漏、过滤与分布气流的三个作用耦合于一体，大大提高了对末端过滤器的要求。在这样的背景下，利用阻漏层理论，把末端高效过滤器的过滤、均流和防漏的三个功能解耦，已经成为洁净室发展的一项新的技术措施。 

　　（2）有条件的，通过计算流体力学（CFD）结合粒子分布轨迹进行气流组织数值模拟，可以较好解决合理的设备布置与在最低的气流速度下，不产生涡流避免污染物的再卷入，但此方法的应用，目前尚有一定难度，尚不易普及。