上海天马微电子有限公司工程师楼均辉

　　在2016中国平板显示学术大会的TFT器件及相关技术分论坛上，上海天马微电子有限公司工程师楼均辉带来题为《金属氧化物TFT阈值对LCD显示屏的可靠性的影响》的主题演讲，以下为演讲文字实录：

　　天马从2012年开始正式研发氧化物TFT，一开始的时候，应该说还很顺利，第一年我们就把TFT推行做得还可以，显示的样品也做出来了，但是我们差不多花了两到三年时间，才把TFT特性基本管控住了。换句话在这过程中我们也走了很多弯路，我们花了两到三年时间以后把TFT特性控制住，也花了一年的时间才把TFT特性调整到需要驱动一级显示的要求范围里了。下面跟大家分享一下我们碰到的问题。

　　TFT主要的指标性能参数包括阈值、牵引率、开关比，对氧化物来说阈值是更重要的，因为它受到自身的影响，可能它的阈值经常会发生变化，或者说出现异常。

　　这是我们采用氧化物TFT结构，这个结构是大家比较常见的。因为大家也知道对于显示屏来说，对窄边框的要求是越来越高，边框的显示屏就必须采用集成电路，整个驱动电路里，输出管是T4，所以T4是最大的管子，也是最重要的TFT。

　　刚才说到氧化物TFT它很多因素受到自身和结构的影响，反过头来说我们也很容易通过自身和结构来实现它不同的特性，这张图里面我们采用三种不同的工艺制成，从而实现了它不同的TFT的阈值，我们用ABC来表示，A这个图是最负的，B会正一点，C就更正。我们把这三种管子用到显示屏里面就会收到不同的效果，A这种特性制作出来的显示屏，我们发现它会出现异常，这个异常就表现为由横纹和动脉冲，如果我们侧来它的三个输出端可以看出，A就是异常的多脉冲。B是正常工作的，假如把显示屏放到85度下面，也出现类似A的异常，它的异常也是出现横纹，我们测量数值也会发现多脉冲。C的湿温和横温都是正常的。B和C湿温下是能够正常工作的，但B是在不同温度下的特性曲线，温度升高的时候，它会发生显着的负向。在常温下都是能正常工作的TFTC都是能正常工作的，高温下氧化物TFTC的负偏压稳定性曲线是没有受到光照的影响，就是因为负值更正一些。

　　总结来说，对于VSR电路行驱动的窄边框氧化物驱动的LCD显示，阈值必须调整多足够正才能保证VSR电路的正常工作，否则容易出现异常多脉冲输入不良，同时需提高氧化物在高温下光照的负偏压稳定性，以提高显示屏的可靠性。