据“苏州汉骅半导体有限公司”公众号消息,汉骅半导体打通硅基Micro-LED与CMOS全流程工艺,并在该技术突破基础上,正式发布“8寸硅基氮化镓Micro-LED标准工艺平台”。
据介绍,汉骅半导体基于8寸硅基氮化镓全色LED外延技术,配合自研的晶圆级无损去硅工艺,已构建起国内首个8寸CMOS半导体工艺高度兼容的Micro-LED标准工艺量产平台,并面向产业伙伴开放代工与联合开发服务。该平台的成功验证标志着从“GaN外延→无损去硅→薄膜集成→CMOS工艺→微显示器件”这一全流程工艺链路实现了系统性打通,为超高分辨率AR/VR近眼显示、MLED光互联、空间计算、数字车灯、AI电源管理等新一代人机交互场景奠定了量产工艺基础。

技术亮点与“打破壁垒”的关键点如下:
8寸全色硅基氮化镓外延平台
基于8寸(200mm)硅基氮化镓(GaN-on-Si)外延技术,完成红/蓝/绿等多波长发光结构的工艺平台化建设,为全色技术路径打通关键工艺节点。
通过晶圆级应力控制与缺陷工程,实现适配量产的外延均匀性和良率,为后续无损去硅与薄膜转移提供稳定基础。
成熟的无损去硅工艺(Damage-free De-Si Platform)
建立了适用于8寸硅片的晶圆级无损去硅技术,实现对硅基底的可控剥离,在大面积范围内保持氮化镓薄膜的完整性与光电性能。
相比传统小片/局部剥离方案,该工艺支持面向阵列的薄膜级转移,适合与CMOS背板进行晶圆级对位键合或封装集成。
有效解决了长期制约GaN-on-Si与先进CMOS工艺深度耦合的工艺难题,被视为打通器件性能与工艺兼容性的关键壁垒之一。
与8寸CMOS工艺高度兼容的集成架构
该平台在工艺窗口和材料体系上充分对标主流8寸CMOS工艺线,包括温度预算、金属体系、平坦度及应力控制等关键指标,可与现有CMOS线进行协同制造或后端集成。
支持多种集成方式:1.GaN薄膜/发光阵列→晶圆级键合至CMOS 驱动晶圆;2.兼容后端工艺的局部互连与封装方案。
通过类似PDK(ProcessDesignKit)的工艺规范和接口定义,为合作伙伴提供版图设计、器件结构、工艺参数的标准化接口,加速从设计到流片的全流程。
微米级乃至纳米级发光单元与高密度阵列
在此平台上,公司已实现微米级甚至亚微米级发光单元阵列结构,可支持超高PPI的Micro-LED微显示需求。
平台在像素尺寸、像素间距、阵列拓扑等方面提供可配置能力,既可满足单色高亮度应用,也可为全色/混光光学架构预留空间。
结合8寸晶圆制造带来的规模与成本优势,为大规模近眼显示应用提供可扩展的器件基础。
面向近眼显示的系统级适配
工艺平台在设计之初即对标AR/VR/MR等近眼显示场景,在亮度、均匀性、对比度、功耗等关键指标上预设优化空间。
后续可与光学模组厂、整机厂联合优化出光结构、色彩方案和系统级封装,实现面向终端应用的系统级解决方案。
汉骅半导体表示,在当前平台验证基础上,公司将持续推进,包括:向更高PPI、更小像素尺寸方向演进,探索纳米级发光单元阵列在量产工艺中的可行性;丰富全色实现路径,包括多波长外延与色转换方案,逐步形成全色Micro-LED器件的标准工艺组合等。
关注我们
公众号:china_tp
微信名称:亚威资讯
显示行业顶级新媒体
扫一扫即可关注我们